概述

KSI V300E是一款高产能声学显微镜，可以对塑封集成电路IC、IGBT大功率模组， 各型电容、以及铜基板器件进行无损检测，分析器件内部之分层、裂缝、空洞等 缺陷。

X轴和Y轴均是新型超高速线性伺服电机，磁悬浮结构，扫描速度快，比常规机器 要快30%以上同时经久耐用。 能对器件作多种扫描模式，如点扫描(A-)、纵剖扫描（B-）、横剖扫描（C-）、多 层横剖扫描(X-）等。

扫描范围适中：300mm x 300mm；

磁悬浮超高速机型，扫描速度：2米/秒； 扫描加速度：30米/秒2 ，KSI一台机器相 当于常规机器2台的工作量。(常规机器小 于1米/秒)

高扫描重复精度：+/-0.1微米（常规机器 只能做到0.5微米）

低噪防误判专利探头（常规机器没有， 无法在高速扫描时去除水花导致的误 判）；

Ksi v300E 详细规格书

电子和声学显微系统单元 ：

● 探头频率：5MHz~300MHz可选 

● 探头焦距：2mm ~ 50mm 可选 

● 模数转换AD卡 1GHz 

● 声学信号激发和接收装置带宽：5MHZ ~ 500MHz 

● 图像显示器27英寸2个 

● 图像格式：BMP、JPG、sam原厂格式 

● 图像分辨率：3.2万像素 x 3.2万像素 

机械扫描单元 ：

● X/Y/Z轴驱动系统是直线磁悬浮电机 

● X轴和Y轴的扫描速度：2000mm/s，加速度是30米/平方秒 

● 扫描范围：300mm x 300mm 

● X轴和Y轴的精度：+/-0.1微米 

● Z轴是自锁步进电机驱动 

● Z轴调焦行程：100mm 

● 检件台：标准、托盘、真空吸附、定制等可选 

● 样品槽：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H) 

软件单元： 

● 主控软件：Ksi Vision 

● 扫描模式：A-、B-、C-、D-、G-、P-、Tray-、X-、Z-、3D- 

● 众多可选配置：透射模组/三维图像分析软件/滤波器等