在10mm的宽范围内实现了与激光干涉仪相同的0.005µm或0.01µm的高分辨力和高精度。

紧凑型的机身使得装置本身小型化，不仅可以作为高精度部件的测量以及高精度定位 · 控制装置长度测量的传感器，还适用于作为各种测量机的标准规。

也具有低测力规格产品 ：根据用途可以选择低测力规格，可以测量易变形工件和高性能胶片等。

LGH系列是与专用计数器的组合规格。