高精度三坐标测量机
LEGEX匠 系列正式发售
初项精度达0.23μm
较以往LEGEX型号提升26%!
0.23μm
「LEGEX匠」系列三坐标测量机进一步分析和排除了存在的误差因素,采用全方位的振动对策,并灵活运用了Mitutoyo「匠师传承制度」所培养的超高精度研磨技术和精密加工技术,多维精进,实现******允许长度测量误差E0,MPE=
(0.23+0.7L/1000)μm*,
较以往LEGEX机型再次提升26%!
这意味着,测量1米长度物体时的误差,从以往LEGEX型号的1.28μm下降到0.93μm以下,测量精度突破了亚微米级别。
精进的技术,进一步分析和排除误差因素:
固定桥式工作台移动结构
高刚性本体基座设计
X轴移动和Y轴移动完全独立
全方位的外部和内部振动对策
配置热膨胀系数几乎为0的超高精度微晶玻璃尺的测长单元
......
挑战精度的极限,突破精度壁垒。
「LEGEX匠」系列三坐标测量机可用于以高精度机床、半导体制造装置、镜头、精密模具等超高精度要求的制造行业的品质管理,还可作为质量控制部门的验证机使用。